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Serveur d'exploration sur les relations entre la France et l'Australie - Exploration (Accueil)

Index « Keywords » - entrée « Plasma processing »
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Plasma processes < Plasma processing < Plasma processing chambers  Facettes :

List of bibliographic references indexed by Plasma processing

Number of relevant bibliographic references: 4.
Ident.Authors (with country if any)Title
005525 (2012) Seiji Samukawa [Japon] ; Masaru Hori [Japon] ; Shahid Rauf [États-Unis] ; Kunihide Tachibana [Japon] ; Peter Bruggeman [Pays-Bas] ; Gerrit Kroesen [Pays-Bas] ; J Christopher Whitehead [Royaume-Uni] ; Anthony B. Murphy [Australie] ; Alexander F. Gutsol [États-Unis] ; Svetlana Starikovskaia [France] ; Uwe Kortshagen [États-Unis] ; Jean-Pierre Boeuf [France] ; Timothy J. Sommerer [États-Unis] ; Mark J. Kushner [États-Unis] ; Uwe Czarnetzki [Allemagne] ; Nigel Mason [Royaume-Uni]The 2012 Plasma Roadmap
008867 (2008) C S Corr [Australie] ; E. Despiau-Pujo [France] ; P. Chabert [France] ; W G Graham [Royaume-Uni] ; F G Marro [Royaume-Uni] ; D B Graves [États-Unis]Comparison between fluid simulations and experiments in inductively coupled argon/chlorine plasmas
00AE68 (2003) Wall effects on the chemistry in a pulsed oxygen/silane radiofrequency helicon plasma
00E098 (1983) Pierre Fauchais [France] ; Erick Boudrin [France] ; Jean Francois Coudert [France] ; Réginald Mcpherson [Australie]High pressure plasmas and their application to ceramic technology

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